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// Maskless UV Lithography · 售后支持

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覆盖开机、对准、曝光、KLayout 图形、DLP/DMD 报错、UV 光源维护。

DLP 连接失败 DMD 异常 KLayout 导出 GDS UV 光源寿命 Z 轴计数异常
RES ~1 μm UV 405/380nm MODE DMD / 直写
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常见问题库覆盖操作、故障排查、软件图形、维护与安全;更深的工艺问题(如光刻胶、掩模、曝光剂量)请直接用右下角 AI 助手——它会检索完整手册作答。

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光学引擎 · 交互演示

数百万微镜,
就是你的掩模。

PC 生成图形 → DMD 控制器驱动微镜 → 曝光光源经 DMD、镜头投射到 XY 运动平台。

光路 · DMD · 晶圆DMD 无掩膜 / UV 曝光光路
PC 图像生成器 DMD控制器 平台运动控制器 曝光光源 405/380nm DMD 反射镜 投影镜头 晶圆 XY 运动平台
DMD 无掩膜
激光直写

DMD 微镜阵列 0 / 448 ON

点击或拖动点亮微镜 = 写入图形(maskless)

晶圆 / 光刻面 就绪

EXPOSE 投影 DMD 图形;激光直写模式下按住鼠标在晶圆上书写
AI 售后助手
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